近4个交易日共计获超2.35亿元资金净流入，同时成交额呈现出明显的放量走阔的趋势，同期日均成交额达2.78亿元，大幅超越产品成立以来至2025年底的0.95亿元的日均成交额水平。在持续的资金流入下，科创半导体设备ETF（588710最新规模已攀升至12.10亿元，刷新成立以来新高。
据悉，科创半导体设备ETF（588710紧密跟踪的上证科创板半导体材料设备主题指数中“半导体设备+半导体材料”行业权重占比达84.8%，同时区别于其他部分半导体类指数沪深两市的选股范围，科创半导体材料设备指数100%科创板市场选股，更聚焦化的选股范围有望进一步放大科创半导体设备材料指数的硬科技成色。
科创半导体设备ETF（588710的管理人华泰柏瑞基金是境内首批ETF管理人之一，其打造的目前A股市场规模居首的ETF——华泰柏瑞沪深300ETF（510300于2026年1月9日起正式启用新场内简称“沪深300ETF华泰柏瑞”，该产品最新规模达4,373.50亿元，具有较高的市场活跃度，同时是上交所沪深300ETF期权唯一现货标的。另外1月11日，华泰柏瑞基金公告称，沪深300ETF华泰柏瑞将实施现金分红，每10份基金份额派发现金红利1.23元。按最新基金份额测算，本次分红总额或接近110亿元，有望创下境内ETF单次分红新高。（万宇
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